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第65章 星晓[12] 方案可行。(第9页)

张群芳:“没什么事我挂了?。”

盛明安:“教授再见。”

通话结束,之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安,足见他们有多关心这棵天才苗子了?。

***

蓝河科技研发部,一尘不染的恒温实验室内,盛明安位于?主?位,身后是雷客、杜颂等人,他们都穿着白色防尘衣,攥紧拳头牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。

组装、封装,启动激光器,紫色激光发射,击中模拟锡液滴,高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成?光源,光源集中、传递至光刻系统,经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

euv光源系统现?实工作,激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次,而在仿真建模中,为方便观察,数据比例修改后变成?肉眼可观测。

仿真建模观测一小时后,放大雕刻后的晶片,宛如一个个充满未来?感的城市。

杜颂吞咽口水,紧张问:“怎么样?”

雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和当?初预料结果一致,如无意外?,方案可行。”

身后传来?一阵激动的欢呼声,不过很快压下来?,众人纷纷看向没开口的盛明安,他才是实验室的主?心骨,他点头了?才算实验成?功!

但不可避免的,他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。

无他,因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果!

无数日?夜的数据优化?、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂的双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量的数据和磅礴的公式计算,一千多个日?夜的心血全数系在这一刻!

盛明安盯着右手边的光屏,那是光源优化?仿真实验结果,结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致,说明——

“方案可行。”

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